SECS/GEM Solution.
"SECS"(SEMI Equipment Communications Standard)是一个半导体制造设备之间进行通信的协议标准。SECS协议定义了一种在半导体设备和工厂主机之间进行通信的规范,使它们能够有效地交换信息。"GEM"(Generic Equipment Model)则是SECS的一个子集,用于在半导体设备和主机之间实现通信和控制。
以下是SECS-GEM协议的一些基本概念和术语:
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SECS-I和SECS-II: SECS协议有两个主要的层次,SECS-I 和 SECS-II。SECS-I定义了物理层和数据链路层的规范,而SECS-II定义了消息层的规范。
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消息格式: SECS-II消息是由消息头和消息体组成的。消息头包含消息的类型、标识符等信息,而消息体包含实际的数据。
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Primary Message 和 Secondary Message: SECS消息分为两种主要类型:Primary 和 Secondary。Primary Message 用于设备和主机之间的控制和命令,而 Secondary Message 用于数据的传输。
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Transaction: 在SECS中,消息交换是通过Transaction进行的。Transaction包括一对Primary和Secondary消息,用于请求和应答。
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GEM: GEM是建立在SECS协议之上的一组规范,用于实现设备控制、数据采集和报告。GEM定义了一套标准的事件报告和状态变更通知,以便主机能够监控设备的状态和执行相应的控制操作。
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SEMI Standards: SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)是一个国际半导体工业协会,制定了SECS-GEM等一系列与半导体制造相关的标准。
SECS-GEM协议的设计旨在促进半导体设备和主机之间的标准化通信,以实现设备控制和数据交换的互操作性。它在半导体制造行业广泛应用,确保了设备和主机之间的有效沟通和协作。在具体实现中,每个设备和主机都需要根据SECS-GEM协议规范进行相应的开发和配置。